因为体积小、易集成、耐高温、工艺简略等长处，被大规划的运用于消费、轿车、医疗、农业、气候等范畴。压力和湿度作为日常环境监督测定目标中的重要
据麦姆斯咨询报导，近期，大学、贵州航天才智农业有限公司的研讨团队规划了一种高活络度的集成压力和湿度传感单元的芯片。该器材的压力传感单元依据SOI和蛇形电阻结构，湿度传感单元选用叉指电极和电容式结构，并引进了含氟聚酰亚胺（PI）作为湿度活络膜。压力传感单元和湿度传感单元具有杰出的独立作业功能，可完成对压力的活络检测和对湿度的快速呼应。相关研讨成果以“依据MEMS技能的集成压力-湿度传感器”为题宣布在《电子科技大学学报》期刊上。
这项研讨所提出的集成压力-湿度传感器，传感器芯片选用SOI结构制备压阻式压力传感单元，引进金属钼（Mo）薄膜层充任电阻元件，并刻蚀成蛇形结构，以进步传感器的活络度，完成压力传感。一起，运用新式含氟基的改性PI作为电容式湿度传感单元的活络资料，有利于降低湿滞，进步呼应速度。更进一步，经过在湿敏传感单元底部增加热电阻的结构，起到了加快脱湿的效果。经过将压力传感器和湿度传感器集成在同一块芯片基底上，完成了器材的小型化并简化了工艺流程。
试验研讨标明，室温条件下，该传感器在载压规划为3 ~ 129 kPa内的活络度为0.026 mV/kPa。在25 ~ 120℃规划内，该传感器的热活络度漂移为0.004‰ FS/℃，热零漂为0.25% FS/℃。湿度传感单元因为选用Mo电阻加热结构，明显加快了传感器的降湿进程，缩短降湿时刻近32%。在10% ~ 90% RH的湿度规划，含氟PI湿度传感器的活络度为0.121 pF/% RH，略低于无氟PI器材。含氟基团的引进，使得该传感器的湿滞较无氟PI降低了16%。此外，试验标明，该传感器的湿度传感单元和压力传感单元各自独立，互不影响。
综上所述，这项研讨作业提出了一种集成压力和湿度的传感器芯片，推动了器材的小型化和本钱操控。研讨人员称，后续将在该研讨基础上展开压力传感单元温度漂移的
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