当前位置：上海智与懋检测仪器设备有限公司温度晶圆热电偶温度传感器 晶圆硅片测温
TC为热电偶的简称， TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，能轻松实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态气温变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）
温度是影响半导体工艺的主要的因素之一，不一样的材料和工序对温度敏感。晶圆热电偶温度传感器提供准确的温度信息，帮助工程师优化工艺参数，提升产品质量和产量。
半导体制造设备中的关键组件对气温变化非常敏感，过高或过低的温度可能会引起设备损坏。通过在关键位置安装晶圆热电偶温度传感器，可以实时监测设备的工作时候的温度，避免设备故障和损害。且响应速度较快，可以迅速捕捉气温变化，实现实时温度控制，来提升工艺的稳定性和效率。
半导体制造工序中的一些环境需要高温条件，晶圆热电偶温度传感器通常具备耐高温性能，能够在恶劣条件下稳定工作。其结构相对比较简单，没有活动部件，因此具有较高的可靠性和稳定能力。大范围的应用于半导体制造厂 Fab，PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用。
精度和稳定能力： 晶圆热电偶传感器能在宽温度范围内提供高精度的温度测量。其设计和制作的完整过程能够最终靠使用微纳加工技术来控制传感器的尺寸和特性，来提升其稳定性和重复性。
快速响应时间： 由于晶圆热电偶传感器的微小尺寸，它们通常能够更快地响应气温变化，这对某些需要实时监测的应用非常重要。
灵活性： 由于晶圆热电偶传感器的制作的完整过程较为灵活，可以在不同的基底材料上制造，从而适应不一样的应用需求。
抗干扰性： 与传统的金属热电偶相比，晶圆热电偶传感器在一些环境中可能表现出更好的抗干扰性，因为它们能通过设计来减少外界电磁干扰的影响。
以上信息由企业自行提供，内容信息的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，机床商务网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
